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磁控濺射組件

我(wo)們可為客戶(hu)提供定制化的(de)(de)平(ping)面(mian)靶、旋轉靶、圓盤靶等各種類型的(de)(de)磁控(kong)濺(jian)射(she)組件,適用于不同的(de)(de)PVD濺(jian)射(she)靶材料和形狀。我(wo)們具有先(xian)進的(de)(de)精密(mi)加(jia)工(gong)能力,可加(jia)工(gong)各種材料的(de)(de)配(pei)套零(ling)件,并(bing)進行(xing)整體(ti)裝配(pei)與清洗。我(wo)們還可對組件進行(xing)水壓、絕(jue)緣、氣密(mi)等測試,確保產品(pin)的(de)(de)質量和性能符(fu)合(he)客戶(hu)要求(qiu)。

 

我們(men)的(de)產品還具(ju)有以下特點(dian)和優勢:

??高(gao)效(xiao)(xiao)率:磁(ci)鋼采用先進的(de)磁(ci)材控(kong)制(zhi)技術(shu),提升工(gong)作(zuo)磁(ci)場的(de)一致性,實(shi)現高(gao)效(xiao)(xiao)的(de)濺射(she)過程,提高(gao)涂(tu)層制(zhi)備效(xiao)(xiao)率與靶材利用率。

??高質量:我(wo)們的(de)產品采用優質的(de)材料和先進(jin)的(de)制造工藝,可以(yi)確保產品的(de)質量和性能。

??可(ke)靠性(xing):我(wo)們(men)的產(chan)品具(ju)有穩(wen)定性(xing)和(he)(he)可(ke)靠性(xing),可(ke)長期穩(wen)定運行,保證涂層質(zhi)量和(he)(he)制備效率。

??靈活性(xing):我們可以為客戶提供定制化(hua)的產品,可根據(ju)客戶的需求(qiu)進行設計和制造,以滿足不(bu)同的涂層(ceng)制備需求(qiu)。

??專業團隊:我們擁(yong)有(you)專業的技(ji)(ji)(ji)術團隊,具有(you)豐富的經驗和技(ji)(ji)(ji)術能力,可為客戶提供全(quan)方(fang)位的技(ji)(ji)(ji)術支(zhi)持和服務(wu)。

 

我們的(de)磁(ci)控(kong)濺射組件可(ke)應用于光電(dian)子、半導體、表面(mian)處理等領(ling)域,滿足客戶(hu)在高端(duan)涂層制備和研究領(ling)域的(de)需求,是客戶(hu)信賴的(de)合(he)作伙(huo)伴(ban)。


產品詳情(qing)

產品關鍵詞

零部件

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磁鋼

磁鋼是(shi)磁控濺射組件的關(guan)鍵零部(bu)件,磁鋼的磁路(lu)排布與磁場(chang)一致性直(zhi)接影響(xiang)最終的濺射效果。由(you)于工(gong)作過程電子輝光放電發熱,磁鋼還需要(yao)具備(bei)一定的耐溫性能。

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機加工件

磁(ci)控濺射(she)組件(jian)的機加工(gong)件(jian)一般為(wei)底(di)座、極靴、罩殼、連接件(jian)等(deng)部分,材質為(wei)低碳鋼(gang)、不銹鋼(gang)、銅(tong)、鋁(lv)、尼龍等(deng),水(shui)冷環境條件(jian)下(xia),鐵質部件(jian)還需做電鍍(du)防護處理。

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密封(feng)件(jian)

密封件(jian)起著密閉(bi)組件(jian)腔(qiang)體,防(fang)止漏氣(qi)漏水(shui)的重(zhong)要(yao)作(zuo)用(yong)。我(wo)們通常(chang)選用(yong)進口優(you)質(zhi)工業用(yong)密封圈,可(ke)長期(qi)穩(wen)定使用(yong)。

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緊固件

緊固件(jian)為(wei)各類型螺(luo)(luo)絲螺(luo)(luo)母、定位銷、墊片(pian)、擋圈等,根據裝配(pei)需要(yao)會作表(biao)面(mian)硬化(hua)處(chu)理。

組裝(zhuang)與檢測(ce)

按照標準作業流程(cheng),將各個零部件組裝成為整體(ti),之后根據使用工(gong)況要求,進行外觀、表面磁場、氦檢、水壓、絕緣等多種檢測。

磁控濺射組件裝配檢驗過程
磁控濺射組件裝配檢驗過程
磁控濺射組件裝配檢驗過程

我們可按照客戶對(dui)磁控(kong)濺(jian)射組件(jian)產(chan)品(pin)的(de)要(yao)求(qiu),從(cong)咨(zi)詢(xun),設計(ji),打樣到批(pi)量生產(chan),提供全流程定制化服(fu)務。


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