磁鋼是(shi)磁控濺射組件的關(guan)鍵零部(bu)件,磁鋼的磁路(lu)排布與磁場(chang)一致性直(zhi)接影響(xiang)最終的濺射效果。由(you)于工(gong)作過程電子輝光放電發熱,磁鋼還需要(yao)具備(bei)一定的耐溫性能。
磁(ci)控濺射(she)組件(jian)的機加工(gong)件(jian)一般為(wei)底(di)座、極靴、罩殼、連接件(jian)等(deng)部分,材質為(wei)低碳鋼(gang)、不銹鋼(gang)、銅(tong)、鋁(lv)、尼龍等(deng),水(shui)冷環境條件(jian)下(xia),鐵質部件(jian)還需做電鍍(du)防護處理。
密封件(jian)起著密閉(bi)組件(jian)腔(qiang)體,防(fang)止漏氣(qi)漏水(shui)的重(zhong)要(yao)作(zuo)用(yong)。我(wo)們通常(chang)選用(yong)進口優(you)質(zhi)工業用(yong)密封圈,可(ke)長期(qi)穩(wen)定使用(yong)。
緊固件(jian)為(wei)各類型螺(luo)(luo)絲螺(luo)(luo)母、定位銷、墊片(pian)、擋圈等,根據裝配(pei)需要(yao)會作表(biao)面(mian)硬化(hua)處(chu)理。
按照標準作業流程(cheng),將各個零部件組裝成為整體(ti),之后根據使用工(gong)況要求,進行外觀、表面磁場、氦檢、水壓、絕緣等多種檢測。
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