高性能(neng)芯(xin)片制程中(zhong)的(de)極(ji)紫外光刻雙工件臺，是先進集(ji)成電(dian)路裝備中(zhong)的(de)重要核心(xin)設備，其加(jia)工精(jing)度決定了芯(xin)片的(de)集(ji)成度與性能(neng)。超精(jing)密二(er)維大行程平面定位磁浮平臺，作(zuo)為該設備系統中(zhong)最重要的(de)部件，是功能(neng)與精(jing)度實現的(de)基礎。

這種尖端應用對(dui)大規格磁鋼的(de)超高尺寸(cun)精度、高磁性(xing)能、耐蝕鍍層(ceng)、零(ling)缺陷(xian)外觀等(deng)各(ge)方面(mian)，提出了超越傳(chuan)統工藝水準的(de)嚴苛要(yao)求(qiu)，使磁鋼的(de)精密(mi)加工、制(zhi)造與檢驗成為極具挑戰(zhan)性(xing)的(de)任(ren)務。

我們深(shen)入(ru)掌(zhang)握此(ci)類半導體(ti)精密磁鋼的(de)特(te)殊要求，已實現(xian)批量穩定(ding)交付，并(bing)可從(cong)咨詢設計、快(kuai)速(su)供樣到批量生產，提供全(quan)流程定(ding)制化(hua)服務。